レニショー Renishaw RCH22B50L00A 50µmスケール用 高精度 光学式 リードヘッド(英国製):
- 主要仕様:50µmピッチリニアスケール対応、非接触光学走査検出方式、高耐ノイズ差動出力信号、耐環境性に優れた小型金属ハウジング、高耐振・耐油設計。
- サブミクロン級の高精度&超高速追従性:高精度な内挿処理によりナノメートルレベルの高分解能を実現し、工作機械の超精密位置決めを制御。
- 摩耗ゼロの完全非接触スキャン:スケールと接触せずに浮上走行するため、機械的な摩耗やヒステリシス、バックラッシュが一切発生しません。
- 油・ホコリに強い 独自光学フィルタリング:スケール表面の微細な油膜やゴミ、小キズを光学的に除去し、極めて安定した信号品質を保持。
- 広い取付許容トレランス:リードヘッドの取付ギャップや傾きの許容値が広く、機械への組み込みと現地での校正作業が容易。
- 用途:マシニングセンタ、三次元測定機(CMM)、半導体ダイボンダー・検査装置、精密ステージ。