アルバック ULVAC ULVOIL R-7000 高性能 合成炭化水素系 回転翼真空ポンプ油：
- 油種：超低蒸気圧を有する高純度合成炭化水素系（Synthetic Hydrocarbon）ベースオイル。
- 酸化安定性：高温連続運転下や大気・化学ガスとの接触時でも劣化しにくく、スラッジ・ワニスの生成を抑制。
- 真空特性：高真空領域での到達圧力を安定維持し、ポンプの長寿命化・オイル交換周期延長に貢献。
- 適合機種：ULVAC製 油回転真空ポンプ（VDシリーズ、VSシリーズ等）専用設計。
- 用途：半導体製造装置、真空蒸着・スパッタリング、凍結乾燥機、真空熱処理炉。
